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日本HD光學設備諧波SHD-40-100-2SH

數(shù)量(臺)	價格
112	4322.00元/臺

最小起訂： 1臺
發(fā)貨地址：上海嘉定區(qū)
發(fā)布日期：2024-04-16
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上海浜田實業(yè)有限公司

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經(jīng)營模式：代理商-私營有限責任公司
所在地區(qū)：上海嘉定區(qū)
家家通積分：16021分

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詳細參數(shù)
品牌	HarmonicDrive	型號	SHD-40-100-2SH
類型	擺線針輪減速器	載荷狀態(tài)	強沖擊載荷
傳動比級數(shù)	雙級	軸的相對位置	臥式減速器
傳動布置形式	同軸式	加工定制	是
樣品或現(xiàn)貨	現(xiàn)貨	齒面硬度	軟齒面
布局形式	三環(huán)式	用途	變速機
輸入轉(zhuǎn)速	3000rpm	額定功率	360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍	50rpm	許用扭矩	691N.m
使用范圍	化工	減速比	543
產(chǎn)地	日本

產(chǎn)品詳情

.光刻技術(shù)及設備的發(fā)展

從圖2.25所示的光學曝光隨集成電路最小尺寸的演變圖我們可以看出，日本HD光學設備諧波SHD-40-100-2SH從上世紀80年代到本世紀初，光學曝光是主要的光刻方法，日本HD光學設備諧波SHD-40-100-2SH光學曝光使用深紫外光。從20世紀80年代初的3mm集成電路到2004年90nm的集成電路的發(fā)展，光學曝光光源使用汞燈，波長從G線（436nm）、I線（365nm），再到使用準分子激光光源，波長為248nm和193nm。過去的十年中產(chǎn)業(yè)界利用大數(shù)值孔徑和浸沒式曝光技術(shù)，以及離軸照明技術(shù)(Off Axis illumination,OAI)、空間濾波技術(shù)、日本HD光學設備諧波SHD-40-100-2SH相位移掩模（Phase Shift Mask, PSM）、光學臨近效應校正技術(shù)等光學曝光分辨率增強技術(shù)，使用193nm的深紫外光將集成電路最小尺寸做到了22nm。