伯東離子蝕刻機(jī) 20IBE-C

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1111 111.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 上海 浦東新區(qū)
  • 發(fā)布日期：2020-11-18
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第6年

伯東企業(yè)(上海)有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人：羅
  • 手機(jī)：15201951076
  • 電話：21-5046-1322
  • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照：已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營(yíng)模式： 代理商-外商獨(dú)資
  • 所在地區(qū)：上海 浦東新區(qū)
  • 家家通積分：2705分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌Hakuto型號(hào)其他
產(chǎn)品用途刻蝕,清洗

產(chǎn)品詳情

上海伯東日本原裝進(jìn)口適合中等規(guī)模量產(chǎn)使用的離子刻蝕機(jī), 樣品臺(tái)可選直接冷卻 / 間接冷卻


伯東離子蝕刻機(jī) IBE 主要優(yōu)點(diǎn):
1. 干式制程的微細(xì)加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導(dǎo)體元件, MR sensor 等領(lǐng)域的開發(fā)研究及量產(chǎn)得以廣泛應(yīng)用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領(lǐng)域都可以被廣泛應(yīng)用.
3. 配置使用美國(guó)考夫曼離子源
4. 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環(huán)境下蝕刻.
6. 配置公轉(zhuǎn)自轉(zhuǎn)傳輸機(jī)構(gòu), 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)使用自動(dòng)化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產(chǎn)過程.


伯東離子蝕刻機(jī) 20IBE-C技術(shù)參數(shù):

離子蝕刻機(jī)φ4 inch X 6片

基板尺寸

< Ф3 inch X 8片
< Ф4 inch X 6片
< Ф8 inch X 1片

NS 離子刻蝕機(jī) 可選

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)可選直接冷卻 / 間接冷卻0-90度旋轉(zhuǎn)

離子源

20cm 考夫曼離子源

均勻性

±5% for 8”Ф

硅片刻蝕率

20 nm/min

溫度

<100

 

伯東離子蝕刻機(jī) 20IBE-C 組成:
NS 離子蝕刻機(jī)


NS 離子蝕刻機(jī)通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
NS離子蝕刻機(jī)

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