產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱:SWAGELOK-隔膜閥-ALD3
產(chǎn)品型號(hào):ALD3
產(chǎn)品介紹:高純度 ALD3 和 ALD6 閥旨在為半導(dǎo)體制造商提供可靠、高速的前體氣體計(jì)量,用于在沉積室中逐層構(gòu)建微芯片。高純 ALD3 和 ALD6 閥門可設(shè)置為常閉和常開氣動(dòng)驅(qū)動(dòng),它們有多種配置可供選擇,包括兩端口直管和彎管設(shè)計(jì);二通、三通和四通多通閥和多閥歧管;以及 1.125 英寸(限 ALD3 系列)和 1.5 英寸平臺(tái)中的二端口和三端口模塊化表面安裝閥??捎玫臒嶂聞?dòng)器、位置傳感器、螺線管和可選的用于容納加熱器筒的主體孔都可以根據(jù)用戶的特定過程為用戶提供額外的價(jià)值。
性能特點(diǎn):
具有高速驅(qū)動(dòng)的高循環(huán)壽命
流量系數(shù)范圍從 0.27 到 0.62,可提供自定義流量系數(shù)
使用可選的熱致動(dòng)器可完全浸入高達(dá) 392°F (200°C) 的溫度
適用于采用標(biāo)準(zhǔn) 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的高純度應(yīng)用
模塊化表面安裝、管對(duì)接焊和 VCR端接
電子或光學(xué)致動(dòng)器位置感應(yīng)選項(xiàng)
ALD3 和 ALD6 隔膜由鈷基高溫合金材料組成,具有強(qiáng)度和耐腐蝕性;閥體由 316L VIM-VAR 不銹鋼制成,適用于高純應(yīng)用;閥座由全氟化高純度 PFA 組成,具有廣泛的化學(xué)兼容性和抗溶脹性和抗污染性。
選型指南:
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié):
可選配置:
產(chǎn)品尺寸:
產(chǎn)品應(yīng)用:
參數(shù):
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件,提供過程控制技術(shù)詢問,工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造,成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐,連航分別在德國和美國設(shè)立了公司和倉儲(chǔ)中心,一舉鞏固了采購能力,擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢(shì),進(jìn)而提升了終端服務(wù)效率與水平??蛻魪V泛分布于全國各大地區(qū)與行業(yè),主要有:汽車制造、機(jī)械設(shè)備制造、電力、石化、采礦、鋼鐵、有色金屬、電氣儀表制造、食品飲料、橡膠制品、醫(yī)藥生產(chǎn)、造紙、紡織、印刷、水泥、玻璃、環(huán)境設(shè)備、軍需工業(yè)等。
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