凈化潔凈室空氣的方法山東潔凈凈化工程

凈化潔凈室空氣的方法山東潔凈凈化工程

潔凈工作臺(tái)方法
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這些技術(shù)。然而，一個(gè)主要問(wèn)題是，當(dāng)從一個(gè)小型加工廠擴(kuò)展到一個(gè)擁有更多工人的大型車(chē)間時(shí)，很難保持其固有的清潔度。早期的半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展了將天花板三明治和墻壁過(guò)濾成干凈的工作臺(tái)方法。這主要是將過(guò)濾器安裝在一個(gè)工作臺(tái)上，并使用不會(huì)脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)外面，晶片在密封盒中儲(chǔ)存和運(yùn)輸。
工作臺(tái)（稱(chēng)為工作蓋）按順序排列在大型車(chē)間中，形成一個(gè)加工區(qū)域，使晶片能夠qianqian2018通過(guò)工藝順序而不會(huì)暴露在空氣中。清潔工作罩中的過(guò)濾器是高效的顆粒收集過(guò)濾器（HEPA過(guò)濾器）。這些過(guò)濾器由脆性纖維和許多小孔組成，并由手風(fēng)琴葉折疊。由于小孔的高密度和過(guò)濾層的大面積，大量空氣以低速流動(dòng)。由于低速空氣避免了空氣流動(dòng)，因此有助于工作臺(tái)的清潔，并且操作員也必須在舒適的環(huán)境中工作。典型的空氣流量6為每分鐘90至100英寸。 HEPA過(guò)濾器的過(guò)濾效率高達(dá)99.99？r，可用于三種凈化方法。
2.隧道/車(chē)間概念
隨著更嚴(yán)格的顆?？刂谱兊帽匾?，潔凈工作臺(tái)會(huì)產(chǎn)生一些缺點(diǎn)。這主要是由于車(chē)間許多工人的流動(dòng)造成的污染。進(jìn)入車(chē)間的工人可能會(huì)被所有過(guò)程的工作站污染。
將加工廠劃分為不同的隧道可以解決人員污染問(wèn)題。過(guò)濾器現(xiàn)在安裝在商店的天花板上，而不是安裝在單獨(dú)的工作臺(tái)上，但它也做同樣的事情。通過(guò)天花板中的過(guò)濾器流入的空氣可以保持清潔，并且可以減少人員產(chǎn)生的污染，因?yàn)楣ぷ髋_(tái)周?chē)墓ぷ魅藛T減少了。然而，該方法的缺點(diǎn)是構(gòu)造昂貴并且不適合于工藝變化。

3.完成潔凈室方法
潔凈室設(shè)計(jì)和過(guò)濾技術(shù)的發(fā)展使我們能夠回到開(kāi)放式加工區(qū)域的建設(shè)。在最先進(jìn)的設(shè)計(jì)中，空氣過(guò)濾包括天花板中的HEPA過(guò)濾器，并從地板回收空氣以保持連續(xù)的清潔空氣。流。桌子的頂部有通孔，允許無(wú)阻礙的空氣流過(guò)。