全新立式高精度晶圓藍(lán)寶石片研磨減薄機(jī)

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
10 29800.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 廣東 深圳市
  • 發(fā)布日期：2024-03-08
  • 訪問量：271
咨詢電話：185-8820-5569
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第1年

深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人：劉潔霞
  • 手機(jī)：18588205569
  • 電話：0755-26527403
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-個(gè)體工商戶
  • 所在地區(qū)：廣東 深圳市
  • 家家通積分：349分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌方達(dá)研磨型號(hào)FD200A
類型平面磨床自動(dòng)化程度自動(dòng)
加工精度高精度動(dòng)力類型機(jī)械傳動(dòng)
作用對(duì)象機(jī)床作用對(duì)象材質(zhì)硅片,陶瓷,鍺片,砷化鎵,碳化硅等
適用行業(yè)半導(dǎo)體晶體材料控制形式數(shù)控
車床大小中小型加工定制是
是否庫存是售后服務(wù)購買后,有專業(yè)技術(shù)人員上門安裝調(diào)試,進(jìn)行員工培訓(xùn),
工作精度高精密主電機(jī)功率2.2KW
外形尺寸1010*1210*2070mm重量1200KG
產(chǎn)地其他布局形式立式
安裝形式落地式

產(chǎn)品詳情


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一、結(jié)構(gòu)
本機(jī)主要由真空吸盤、吸盤主軸、吸盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 磨輪，砂輪主軸、磨輪及伺服驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、磨輪進(jìn)給機(jī)構(gòu)、系統(tǒng)全閉環(huán)控制系統(tǒng)等.。
1、磨輪直徑 312mm，磨輪采用 鉆石砂輪，磨輪的粒度的選型是根據(jù)客戶對(duì)工藝的要求定制。
2、磨輪主軸采用精密旋轉(zhuǎn)主軸，驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC 控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速。
3、本機(jī)采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動(dòng)方式是伺服全閉環(huán)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)， 可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)的改變絲桿的轉(zhuǎn)速，也就是磨輪的進(jìn)刀速度，控制進(jìn)給精度由高分辨率光柵尺檢測。
二、控制方式
1、本機(jī)采用先進(jìn)的國際知名品牌 PLC 和觸摸屏，自動(dòng)化程度高，實(shí)現(xiàn)人機(jī)界面，操作簡單一目了然。
2、氣壓壓力檢測傳感器，當(dāng)氣壓小于設(shè)備設(shè)置的正常加工所需的最小壓力時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止工件吸不牢。
3、砂輪扭矩控制，當(dāng)扭矩高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn)生的扭矩時(shí)設(shè)備報(bào)警，防止設(shè)備異?；蛘哒`操作時(shí)撞刀損壞機(jī)器配件。
4、砂輪電流監(jiān)測，當(dāng)冷砂輪高于設(shè)備設(shè)置的正常加工所產(chǎn)生的最大電流時(shí)砂輪回彈，回彈距離可調(diào)，防止砂輪擠壓工件造成損壞。
5、磨輪損耗量的自動(dòng)補(bǔ)償，防止因砂輪在磨削產(chǎn)品的同時(shí)產(chǎn)生的消耗影響工件的加工精度。

FD150A 減薄機(jī)

三、 技術(shù)指標(biāo)：

真空吸盤尺寸：

?200mm

吸盤轉(zhuǎn)速（連續(xù)可調(diào)）:

0-300rpm/min

吸盤電機(jī)功率:

2.2KW 380V 3相

光柵控制系統(tǒng)：

分辨率0.0005mm

磨輪轉(zhuǎn)速（可調(diào)):

0-3000rpm/min

磨輪馬達(dá)功率:

5.5kw

產(chǎn)品減薄后平行度：

≦3um

磨輪最小設(shè)定步距：

0.1um/s

水箱尺寸

780*480*550mm

外形尺寸：

1010*1210*2070mm

重量：

1200KG


四、安裝環(huán)境：

序號(hào)

項(xiàng)目

指標(biāo)要求

1

環(huán)境

室內(nèi)地面平坦、無振動(dòng)源

2

水源

純水或自來水

3

電源

三相五線 380V

4

壓縮氣源

0.5～0.8Mpa 消費(fèi)量

50L/min 氣壓接線口徑：φ8

5

排水

循環(huán)使用


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