產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品概述：
PT-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)的管式爐。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
技術(shù)參數(shù)：
|
型號(hào) |
帶有3個(gè)MFC氣體通道的 PT-T1200 CVD |
|
|
顯示 |
發(fā)光二極管 |
|
|
溫度 |
1200℃短時(shí)間 |
|
|
連續(xù)工作溫度 |
≤1100℃ |
|
|
加熱速率 |
建議：0?10℃/ min |
|
|
溫度區(qū) |
220毫米+220毫米+220毫米 |
|
|
加熱元件 |
鉬電阻絲 |
|
|
熱電偶 |
K型 |
|
|
溫度控制精度 |
±1℃ |
|
|
管尺寸 |
80x1200mm（外徑x長） |
|
|
管座 |
包括兩個(gè)纖維狀陶瓷塊，用于阻止管子內(nèi)部的熱輻射（在加熱之前，陶瓷塊必須完全插入爐膛中）。 |
|
|
溫度控制 |
通過SCR功率控制進(jìn)行PID自動(dòng)控制 |
|
|
程序和斜坡 |
30步可編程 |
|
|
真空法蘭 |
帶閥的不銹鋼真空法蘭 |
|
|
功率 |
220V，50 Hz，單相6KW |
|
|
質(zhì)量流量計(jì) |
三種精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍為0?100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為0?200 sccm MFC 3：氣體流量范圍為0?200 sccm （氣體流量范圍可根據(jù)您的要求） 底殼上裝有一個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)裝有3個(gè)不銹鋼針閥，以手動(dòng)控制3種氣體的混合 下面的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個(gè)顯示器 |
|
