哈默納科EUV技術(shù)諧波SHD-14-50-2SH

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第13年

上海浜田實業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號SHD-14-50-2SH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式同軸式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式擺線式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比23
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

從上世紀(jì)80年代到本世紀(jì)初，光學(xué)曝光是主要的光刻方法，光學(xué)曝光使用深紫外光哈默納科EUV技術(shù)諧波SHD-14-50-2SH 。從20世紀(jì)80年代初的3mm集成電路到2004年90nm的集成電路的發(fā)展，光學(xué)曝光光源使用汞燈，波長從G線（436nm）、I線（365nm），再到使用準(zhǔn)分子激光光源，波長為248nm和193nm。哈默納科EUV技術(shù)諧波SHD-14-50-2SH過去的十年中產(chǎn)業(yè)界利用大數(shù)值孔徑和浸沒式曝光技術(shù)，以及離軸照明技術(shù)(Off Axis illumination,OAI)、空間濾波技術(shù)、相位移掩模（Phase Shift Mask, PSM）、光學(xué)臨近效應(yīng)校正技術(shù)等光學(xué)曝光分辨率增強技術(shù)哈默納科EUV技術(shù)諧波SHD-14-50-2SH ，使用193nm的深紫外光將集成電路最小尺寸做到了22nm。目前利用極紫外（EUV）光刻技術(shù)，

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