產(chǎn)品詳情
為了提高厚膜電路的精度，必須進(jìn)行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，如果阻值超過標(biāo)稱值將無法修正，但是，一般情況下印刷燒成后阻值低于目標(biāo)值的大約30％，所以要通過激光調(diào)整達(dá)到目標(biāo)值。
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡(luò)組成。
LT7130激光調(diào)阻機(jī)
設(shè)備特點(diǎn)
適用厚膜電路調(diào)阻，電子模塊功能修調(diào)
高精度，高速度，高可靠性
訂制的技術(shù)激光器，切口質(zhì)量高
直線電機(jī)XY平臺分步重復(fù)
消色差成像技術(shù)，圖像識別功能
矩陣測量系統(tǒng)，配備IEEE-488(GPIB)接口
強(qiáng)大軟件編程功能，滿足各種不同應(yīng)用
主要技術(shù)參數(shù)
|
激光系統(tǒng) |
型號規(guī)格 |
LT7130/G/U |
|
激光波長 |
1064nm/532nm/355nm |
|
|
激光功率 |
8W/5W/3W |
|
|
典型光斑尺寸 |
35±5μm/18μm/10μm |
|
|
對焦方式 |
自動，計(jì)算機(jī)程序控制 |
|
|
冷卻方式 |
水冷 |
|
|
激光束定位系統(tǒng) |
激光束運(yùn)動范圍 |
60mm X 60mm |
|
運(yùn)動分辨率 |
0.76μm |
|
|
重復(fù)定位精度 |
±2.5μm |
|
|
分步重復(fù)運(yùn)動系統(tǒng) |
運(yùn)動方式 |
平面電機(jī)或直線電機(jī) |
|
運(yùn)動范圍 |
290mm*260mm |
|
|
重復(fù)定位精度 |
±1μm |
|
|
運(yùn)動速度（空載） |
900mm/s |
|
|
測量系統(tǒng) |
電阻測量方式 |
四線制測量或二線制測量 |
|
電阻測量精度 |
中阻 ± 0.02% |
|
|
電阻測量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
|
|
測量速度 |
25μs/次 |
|
|
零點(diǎn)及滿程誤差校正 |
自動校正 |
|
|
探針定義 |
可編程任意設(shè)定 |
|
|
探針板運(yùn)動 |
自動、計(jì)算機(jī)程序控制 |
|
|
探針板規(guī)格 |
標(biāo)準(zhǔn)P48 |
